深圳市欧美瑞科技有限公司

SEC- (质量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (质量流量计)

E40

E50

适用气体种类*1

非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)

气体接触部材质

SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢

阀门型号

非通电时　关闭

标准流量量程 (N2相应F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范围
(适于SEC系列)

2〜100% F.S.

流量测量范围
(适于SEF系列)

0〜100% F.S.

响应速度

1秒以内(T98)

流量

±1% F.S.

直线性

±0.5% F.S.

反复性

±0.2% F.S.

工作差压值值
(适于SEC系列)

10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d)　10〜30 SLM:100〜300kPa(d)

使用压力
(适于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐　压

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa・m3/s(He)以下

使用环境温度

5〜50℃(的确保：15〜35℃)

流量设定信号

0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜100% F.S.

流量输出信号

0〜5VDC(负荷电阻2kΩ)

驱动电源

+15VDC ±5% 50mA

 -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA

−15VDC ±5% 200mA 3.9VA

标准接头*2

1/4SWL 类型