一、小流量气体质量流量传感器-FSG4000系列主要特性：1）传感器灵敏度高，有极小的始动流量2）传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高计量3）在单个芯片上实现了多传感器集成，使传感器的量程比大大提高4）传感器的零点稳定度高5）全量程高稳定性6）全量程高度和优良的重复性7）低功耗8）低压损9）响应时间快 二、小流量气体质量流量传感器-FSG4000系列典型应用： 适用于小流量气体质量的流量测量。
